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當前位置: 首頁 - FPC制造
迄今為止的FPC制造工藝幾乎都是采用減成法(蝕刻法)加工的。據了解,通常以覆銅箔板為出發材料,利用光刻法形成抗蝕層,蝕刻除去不要部分的銅面形成電路導體。由于側蝕之類的問題,蝕刻法存在著微細電路的加工限制。
基于減成法的加工困難或者難以維持高合格率微細電路,人們認為半加成法是有效的方法,人們提出了各種半加成法的方案。利用半加成法的微細電路加工例。半加成法工藝以聚酰亞胺膜為出發材料,首先在適當的載體上澆鑄(涂覆)液狀聚酰亞胺樹脂,形成聚酰亞胺膜。
接著利用濺射法在聚酰亞胺基體膜上形成植晶層,再在植晶層上利用光刻法形成電路的逆圖形的抗蝕層圖形,稱為耐鍍層。在空白部分電鍍形成導體電路。然后除去抗蝕層和不必要的植晶層,形成第一層電路。在第一層電路上涂布感光性的聚酰亞胺樹脂,利用光刻法形成孔,保護層或者第二層電路層用的絕緣層,再在其上濺射形成植晶層,作為第二層電路的基底導電層。重復上述工藝,可以形成多層電路。
據了解,利用這種半加成法可以加工節距為5um、導通孔為巾10um的超微細電路。利用半加成法制作超微細電路的關鍵在于用作絕緣層的感光性聚酰亞胺樹脂的性能。